ФОКУСИРОВАННЫЙ ИОННЫЙ ПУЧОК
- Термин
- фокусированный ионный пучок
- Термин на английском
- focused ion beam
- Синонимы
- Аббревиатуры
- FIB
- Связанные термины
- Определение
- концентрированный поток ионов, который используют в современных исследовательских приборах и технике для интенсивной и прецизионной обработки разных материалов
- Описание
-
При получении и обработке неорганических материалов применяются жёсткие методы ионизации вещества, поскольку энергии связи атомов в твёрдом теле весьма велики, и для разрыва этих связей с образованием ионов необходимо еще более высокоэнергетическое воздействие.
Среди методов ионизации следует отметить:
- ионизацию в индуктивно-связанной плазме (ICP);
- термоионизацию или поверхностная ионизацию;
- ионизацию в тлеющем разряде и искровую ионизацию (см.искровой разряд);
- ионизацию в процессе лазерной абляции.
В современной практике для получения нано/микроструктур широко используются жидкометаллические ионные источники (Ga+). Все большее распространение получают приборы с гелиевыми источниками. Для фокусировки ионного пучка используют электромагнитные линзы.
Использование фокусированных ионных пучков лежит в основе работы ионных микроскопов, приборов для прецизионной ионной резки и травления материалов, масс-спектрометров, адронных коллайдеров и др.
- Авторы
- Вересов Александр Генрихович, к.х.н.
- Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.
- Ссылки
- Сфокусированный ионный пучок как инструмент наноскульптора / © 2004—2009 Nanonewsnet.ru URL: http://www.nanonewsnet.ru/articles/2008/sfokusirovannyi-ionnyi-puchok-kak-instrument-nanoskulptora
- Черезова Л.А. Ионно-лучевые методы в оптической технологии: Учебное пособие. - СПб: СПбГУ ИТМО, 2007. - 151 с.
- Handbook of microscopy for nanotechnology / edited by Nan Yao, Zhong Lin Wang.- Boston: Kluwer Academic Publishers, 2005.- 731 p.
- Иллюстрации
- Теги
- Разделы
-
Фокусированная ионная резка
Наноимпринтинг и травление
Прецизионная обработка поверхности сложной формы
Методы обработки и формирования структур с прецизионным позиционированием (нанолитография, нанообработка, нанопечать, наноструйная техника и другое)
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)