МЕТАЛЛУРГИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
[semiconductor metallurgy] — область науки и техники, а также отрасль ЦМ, охватывающая процессы получения неорганических полупроводниковых веществ и материалов и изделий из них с заданными свойствами.
Возникновение этого направления металлургии связано с изобретением в конце 1940-х гг. полупроводникового триода (транзистора). В настоящее время класс полупроводниковых веществ и материалов весьма обширен (Смотри Полупроводниковые вещества). Для их получения применяются как методы, основанные на кристаллизации расплавов, так и методы кристаллизации из паровой (газовой) фазы. Компактные слитки и изделия можно изготовлять также прессованием порошков, экструзией и другими известными в металлургии методами. Полупроводниковые вещества могут иметь монокристаллическую, поликристаллическую, нанокристаллическую и аморфную структуры.
Задача обеспечения высокой чистоты конечного продукта от неконтролируемых примесей наиболее важна в производстве полупроводниковых материалов. При получении (синтезе) полупроводниковых материалов используются высокочистые исходные химические элементы или высокочистые химические соединения. Технологические операции при необходимости осуществляются в специальных чистых производственных помещениях и боксах. Соблюдаются соответствующие условия технологической гигиены. Разработаны и используются разнообразные методы изготовления высокочистых веществ и материалов: ректификационная очистка, возгонка, Si выращивают бездислокационно и при диаметр 200 мм неоднородность свойств не превышает 2-5 %.
Исходя из уровня требований к качеству продукции и тех технологических приемов и оборудования, с помощью которых достигается необходимое качество продукции, полупроводниковую металлургию можно отнести к прецизионной. По объему выпускаемой продукции — это малотоннажное производство. Например, выпуск монокристаллов Si в мировом масштабе составлял в 1994 г. около 7500 т. На рынок кремний большей частью поступает в виде пластин, производство которых достигло в 1994 г. около 15 млрд. см2, когда производство германия составляло около 100 т в год, арсенида галлия — десятки т, фосфидов индия и галлия — единицы т;
Смотри также:
— Металлургия
— черная металлургия
— цветная металлургия
— порошковая металлургия
— плазменная металлургия
— космическая металлургия
— вакуумная металлургия
— бескоксовая металлугрия
— атомная металлургия