МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТР, прибор, применяемый для измерений неровностей
ности определяется через искривление а и ширину b интерференц. полосы h = a/b-лямбда/i, где лямбда-ср. длина волны используемого участка спектра. С помощью М. можно измерять высоты от 0,03 до 1 мкм. Изготовляют М., работающие в белом и монохроматич. свете. М. снабжают окулярным микрометром для измерений или окуляром и фотокамерой для регистрации интерференц. картины. Нек-рые М. имеют устройства для измерений неровностей до 10 мкм по отпечаткам, снятым с исследуемых поверхностей.
Лит.: Егоров В. А., Оптические и щу-повые приборы для измерения шероховатости поверхности, 2 изд., М., 1965.
Л. Н. Логачева.
Новый словарь иностранных слов.- by EdwART, ,2009.
м.
microinterferometro m