[sɔft 'erə; englisch, eigentlich »weicher Fehler«] der, - -(s)/- -s, Halbleitertechnik: unerwünschte Änderung oder Zerstörung einer in Gestalt elektrischer Ladung gespeicherten Information durch energiereiche Alphateilchen. Soft Errors können insbesondere bei Speicherzellen mit sehr kleinen Abmessungen (Eintransistorzellen) auftreten. Die Alphateilchen stammen besonders aus dem radioaktiven Zerfall von Uran und Thorium, die spurenweise in Substrat- oder Verkappungsmaterialien enthalten sind. Ein Alphateilchen mit einer Energie von etwa 5 MeV erzeugt in Silicium bis zu einer Tiefe von etwa 25 μm etwa 106 Elektron-Loch-Paare.