электрохимическое окисление поверхности металлов, сплавов и полупроводников
В зависимости от вида кислородсодержащей среды, заполняющей межэлектродное пространство, различают анодирование в водных растворах электролитов, в расплавах солей, в газовой плазме, а также плазменно-электролитическое оксидирование.
При анодировании в газовой плазме оксид образуется в результате диффузии анионов кислорода из плазмы. При анодировании в водных растворах продукт представляет собой ориентированный электрическим полем полимеризованный гель оксида металла. Низкотемпературная плазма, образующаяся в непосредственной близости от металла под оксидом, является источником анионов кислорода, необходимых для образования оксида.
В электронной промышленности анодирование в водных растворах электролитов широко применяется при производстве конденсаторов (электролитических, оксидно-полупроводниковых , оксидно-металлических).
Анодирование в расплавах солей применяют для получения оксидных пленок повышенной толщины и микротвердости, в частности, на поверхности меди и железа.
Анодирование в газовой плазме широко применяют в микроэлектронике, так как процесс технологически хорошо совместим с остальными операциями интегральной технологии в едином вакуумном цикле, а также для получения тонкопленочных элементов с туннельным диэлектриком (элементы Джозефсона, триоды с металлической базой, оптоэлектронные элементы), диэлектрика конденсаторов, пассивации поверхности интегральных схем и межкомпонентной изоляции.
Комбинация уникальной пористой структуры (прямые поры управляемого диаметра) с высокой температурной, механической и химической стабильностью делает пленки анодированного оксида алюминия привлекательным материалом для различных применений в области фильтрации и разделения смесей, хранения информации, в сенсорике и для синтеза одномерных наноструктур.
Мембраны анодированного оксида алюминия (АОА) обладают однородной пористой структурой с гексагональной упаковкой цилиндрических каналов и узким распределением пор по размерам. Поперечный скол оксидной пленки. Различными цветами показаны слои, полученные при разных напряжениях анодирования
Источник: Нанометр URL: http://www.nanometer.ru |
|
СЭМ-изображения 3D-структур на основе тонких пористых пленок анодированного оксида алюминия, сшитых полимерными нитями Источник: Нанометр URL: http://www.nanometer.ru |
Энциклопедия «Техника». — М.: Росмэн.2006.
Новый словарь иностранных слов.- by EdwART, ,2009.
образование защитного покрытия на поверхности металлич. изделии, к-рые служат в процессе электролиза анодом. Анодируют в осн. алюминий и его сплавы; образующиеся при этом оксидные плёнки (обычно толщ. 5 - 25 мкм) защищают металл от коррозии, служат хорошим основанием для лакокрасочных покрытий и обладают электронзоляц. св-вами. А. используется также в декоративных целях.
с.
anodizzazione f, ossidazione f anodica
- анодирование в барабане- глубокое анодирование- анодирование под бронзу- сернокислотное анодирование- толстослойное анодирование- цветное анодирование