ELEKTRONENSTRAHLMIKROANALYSE

Elektronenstrahlmikroanalyse,

 

Abkürzung ESMA, früher als Rọ̈ntgenmikroanalyse bezeichnete Methode der Röntgenspektroskopie. Dabei wird auf die zu analysierende Stelle der Probenoberfläche ein Elektronenstrahl genau fokussiert; dieser regt die Atome des Materials zur Emission einer Röntgenstrahlung an, deren Spektrum die charakteristischen Linien der vorhandenen chemischen Elemente aufweist. Durch die Elektronenstrahlmikroanalyse können Aussagen über die Zusammensetzung und Konzentration der in der Probe vorliegenden chemischen Elemente (Ordnungszahl größer 17) sowie über lokale chemische Bindungsverhältnisse getroffen werden. Sie wird zur Untersuchung von Legierungen, Mineralen, Sinterstoffen u. a. angewandt.