5.2105
ГОСТ 5.2105{-73}Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции.
ОКС: 31.260
КГС: Э72 Контрольно-испытательное оборудование для контроля качества изделий электронной и радиопромышленности
Действие: С 01.09.73
Текст документа: ГОСТ 5.2105 «Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции.»