ANTISTATISCHER ARBEITSPLATZ

antistatischer Arbeitsplatz,

 

in der Halbleitertechnologie ein bei der Fertigung mikroelektronischer Bauelemente (v. a. Chips) und Bauteile eingerichteter Arbeitsplatz mit besonderen Maßnahmen zur Verhinderung von elektrostatischen Aufladungen und ihren schädlichen Folgen (elektrische Entladungen, Staubanziehung). Besonders elektrische Entladungen führen bei empfindlichen elektronischen Bauteilen (z. B. Transistoren in MOS-Technik, integrierten Schaltungen, Mikroprozessoren) häufig zu Beschädigungen, und anhaftende Staubpartikel können im Betrieb elektrische Durchschläge zwischen den eng benachbarten Leiterbahnen hervorrufen. Als Schutzmaßnahmen am antistatischen Arbeitsplatz dienen die Verwendung von Antistatika für Unterlagen und Verpackungen, metallische Ableitungen und Luftionisatoren zur Neutralisation der Ladungen.