26239.8
ГОСТ 26239.8{-84}Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния.
ОКС: 29.045
КГС: В59 Методы испытаний. Упаковка. Маркировка
Действие: С 01.01.86
Изменен: ИУС 10/90
Примечание: см. сб. "ГОСТ 26239.0-84"
Текст документа: ГОСТ 26239.8 «Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния.»