АМОРФНАЯ ТОНКАЯ ПЛЕНКА

[thin amorphous film] — пленка толщиной от 10^-3 до нескольких микрометров в аморфном состоянии при комнатной температуре, характеризующимся отсутствием дальнего порядка в расположением атомов. Аморфную тонкую пленку обычно получают из аморфных металлических сплавов (или металлических стекол) высокоскоростным ионноплазменным распылением их с последующей конденсацией паров на охлаждаемую жидким азотом подложку или химическим и электролизным осаждением ионов металлов на поверхность. Аморфная тонкая пленка изготовляется из магнитных, инварных, резистивных и других аморфных сплавов и применяют в микроэлектронике, вычислительной, космической и других областях техники.
Смотри также:
— Пленка
— эпитаксиальная тонкая пленка
— оксидная пленка
— полимерная пленка
— магнитная тонкая пленка