выход обратно рассеянного аксиального потока ионов, выход обратно рассеянного ориентированного потока ионов, выход обратно рассеянного каналированного потока ионов
выход обратно рассеянного аксиального потока ионов, выход обратно рассеянного ориентированного потока ионов, выход обратно рассеянного каналированного потока ионов