25196
ГОСТ 25196{-82}Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования.
ОКС: 23.160
КГС: Э71 Технологическое оборудование для изготовления изделий электронной и радиопромышленности
Действие: С 01.07.83
Текст документа: ГОСТ 25196 «Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования.»