DÜNNSCHICHTTECHNIK
Dünnschichttechnik: übersetzung
Dünnschichttechnik,
Dünnfilmtechnologie, Sammelbezeichnung für Verfahren der Mikroelektronik zur Herstellung miniaturisierter und integrierter Bauelemente und Schaltkreise (Hybridschaltung) durch Aufdampfen oder Aufstäuben von 1 bis 0,01 μm starken leitenden, halbleitenden und/oder dielektrischen Schichten im Vakuum auf einen nicht leitenden Träger (aus Glas, Keramik, Quarz u. a., auch aus Kunststoff). Dünnschichtwiderstände werden durch Aufdampfen von Chrom-Nickel-Legierungen oder Metall-Keramik-Verbindungen, Leitungsbahnen aus Kupfer-, Aluminium- oder Goldschichten hergestellt. Dünnschichtkondensatoren lassen sich durch aufeinander folgendes Bedampfen mit Aluminium, Siliciumdioxid (als Dielektrikum) und wieder Aluminium erzeugen. Aktive Bauelemente (Dünnschichtdioden und -transistoren) mit konstant guten elektrischen Eigenschaften sind schwieriger herzustellen; sie werden daher häufig in konventioneller Bauform nachträglich eingefügt.